வேதி பூச்சு செயல்முறை, சிலிக்கான் தகடுகளின் மேற்பரப்பில் பிரமிட் அமைப்புகளையோ அல்லது தலைகீழ் பிரமிட் அமைப்புகளையோ உருவாக்குகிறது, இது ஒளி உறிஞ்சும் திறனை மிகவும் அதிகரிக்கிறது. இந்த முக்கியமான உற்பத்தி செயல்முறை, சூரிய செல் மாற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு அவசியம்.
உபகரணம்: ஒற்றை-படிக தொகுதி பரப்புருவாக்கம் அமைப்பு
உற்பத்தியாளர் தேர்வு: சீனா எஸ்.சி., கிங்கினியஸ்., முதலியன
பி+ அடுக்கு உருவாக்கம் பிஎன் சந்திப்புக்கு:உயர் வெப்பநிலையில் பிசிஎல்₃ஐப் பயன்படுத்தி, சிலிக்கான் துண்டு மேற்பரப்பில் பி+ அடுக்கை உருவாக்குவதன் மூலம், துண்டில் கேரியர் உருவாக்கத்தை அனுமதிக்கும் பிஎன் சந்திப்பை உருவாக்குகிறது.
என்-வகை செல் சந்திப்பு உருவாக்க முறை:என்-வகை செல்களுக்கு சந்திப்பு உருவாக்க செயல்முறை, பாஸ்பரஸ்-டாப் செமிக்கண்டக்டர் பொருளில் போரான் (பி) ஐப் பரவவிடுவதைக் கொண்டது, இரண்டு டாப் செமிக்கண்டக்டர் பகுதிகளுக்கு இடையே உள்ள இடைமுகத்தில் பி-என் சந்திப்பை உருவாக்குகிறது.
உபகரணங்கள்:
போரான் பரவல் அடுக்ககம் (6 குழாய்)
உற்பத்தியாளர் தேர்வு:
சீனா எஸ்.சி., லேப்லேஸ்., முதலியன
எஃப்.எச் பயன்படுத்தி பாஸ்போசிலிக்கேட் கண்ணாடி (பி.எஸ்.ஜி) நீக்கம்
வினை: SiO2 + HF → H2SiF6 + H2O
தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு பாசிவேஷன் மற்றும் பாலிஷிங் முறை:
“பாதுகாப்பு குழுக்கள்” (எ.கா., சிலேன் அடிப்படையிலான சேர்மங்கள்) ஆக்சைடு மேற்பரப்பில் ஒரு ஒழுங்கமைக்கப்பட்ட மோனோலேயரை உருவாக்குகின்றன:
OH⁻ பரவல் தடையை உருவாக்குகிறது → SiO₂ எச்சத்தை தடுக்கிறது
பின்புறத்தில் உள்ள Si உடன் OH⁻ வினையை துரிதப்படுத்துகிறது → {111}/{100} தளங்களில் அனிசோட்ரோபிக் எச்சத்தை மேம்படுத்துகிறது
உபகரணங்கள்:ஒருங்கிணைந்த BSG நீக்கம் உபகரணம் + காரி பாலிஷிங் உபகரணம்
உற்பத்தியாளர் தேர்வு: சீனா எஸ்.சி., கிங்கினியஸ்., முதலியன
ஆக்சைடு அடுக்கு படிதல் கொள்கை:உயர் வெப்பநிலையில் ஆக்சிசன் பரவல் மூலம் வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், அங்கு ஆக்சிசன் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கான் ஆக்சைடை உருவாக்குகிறது.
வேதி வினை: O2+SiSiOx.
அமோர்பஸ் சிலிக்கான் (a-Si) படிதல் கொள்கை:CVD செயல்முறையில் சிலேன் (SiH₄) இன் வெப்பப் பகுப்பு, திட நிலை சிலிக்கான் மற்றும் ஹைட்ரஜன் துணைவிளைபொருட்களை உருவாக்குகிறது.
வேதி வினை: SiH₄(g) → Si(s) + 2H₂(g)
உபகரணங்கள்: LPCVD அமைப்பு
உற்பத்தியாளர்தேர்வு:லேப்லேஸ், முதலியன
POCl3 இன் சிதைவால் உருவாகும் P2O5, சிலிக்கான் வெஃபரின் மேற்பரப்பில் படிந்துள்ளது. P2O5, சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து SiO2 மற்றும் பாஸ்பரஸ் அணுக்களை உருவாக்கி, சிலிக்கான் வெஃபரின் மேற்பரப்பில் பாஸ்போசிலிக்கேட் கண்ணாடியின் அடுக்கை உருவாக்குகிறது. பின்னர் பாஸ்பரஸ் அணுக்கள் சிலிக்கானுக்குள் பரவுகின்றன.
வினை: 2P2O5+5Si=5SiO2+4P↓
உபகரணங்கள்:பாஸ்பரஸ் பரவல் அடுப்பு
உற்பத்தியாளர்தேர்வு:சீனா எஸ்.சி.., முதலியன
PSG நீக்கத்திற்கான இணையான ஈரமான எட்சிங் (பின்புறம் & பக்கச் சுவர்கள்)
முறை: சங்கிலி வகை ஈரமான நிலையம், HF அடிப்படையிலான வேதியியல் மூலம் RCA சுத்திகரிப்புக்கு முன்னர், வெப்ப மின்னணு அட்டையின் பின்புறம் மற்றும் விளிம்புகளில் இருந்து பாஸ்போசிலிக்கேட் கண்ணாடி (PSG) நீக்குகிறது.
BPSG இன் பாதுகாப்பை மேம்படுத்த, "பாதுகாப்பு குழுக்கள்" தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட வரிசையில் ஒழுங்குபடுத்தப்படுகின்றன. அல்காலி பாலிஷிங் முறையைப் பயன்படுத்தி POLY மேற்பரப்பில் PSG யை அகற்றிய பின், aOH+ADD ஐப் பயன்படுத்தி SiO2, NaOH மூலம் கெடுக்கப்படுவதை வெற்றிகரமாகத் தடுக்கலாம்.
உபகரணங்கள்:ஒருங்கிணைந்த PSG நீக்குதல் அமைப்பு + RCA சுத்திகரிப்பு இயந்திரம்
உற்பத்தியாளர்தேர்வு:சீனா எஸ்.சி.., முதலியன
பரப்புக் செயல்முறைத் தத்துவம்: ALD அணு அளவிலான மெல்லிய தகடுகளை அடுக்குக்கு அடுக்கு வைக்க உதவுகிறது. Al₂O₃ன் எதிர்மறை நிலையான கட்டணங்களைப் பயன்படுத்தி, சிலிக்கான் திடப்பொருளின் நோக்கி ஒரு இடைமுக மின்புலத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த புலம்:
அலுமினிய ஆக்சைடு/சிலிக்கான் இடைமுகத்திலிருந்து எலக்டிரான்களைத் தள்ளிவிடுகிறதுn-வகை சிலிக்கானில்
இடைமுக மறுசேர்க்கை வேகத்தை குறைக்கிறது (Seff< 10 சென்டிமீட்டர்/வினாடி)
குறைந்தபான்மை கரியக் கடத்தி ஆயுட்காலத்தை அதிகரிக்கிறது (Δτ > 1 மில்லிவினாடி)
TMA முன்னோடி வினையியல் மூலம் Al₂O₃ படிவு: ட்ரைமெத்தில் அலுமினியம் (TMA) சுழற்சி செயல்முறையில் நீராவியுடன் வினைபுரிகிறது:
2AL(CH3)3 + 3H2O = Al2O3 + 6CH4
உபகரணங்கள்: ALD
உற்பத்தியாளர்தேர்வு: LEADMICRO.,மற்றவை
குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா ஆற்றல் ஆதாரமாகச் செயல்படுகிறது, சிலிக்கான் வெஃப்பர் குறைந்த அழுத்த ஒளி வெளியீட்டின் கீழ் கேதோடில் வைக்கப்படுகிறது. வெஃப்பர் ஒளி வெளியீட்டின் மூலம் தீர்மானிக்கப்பட்ட வெப்பநிலைக்கு சூடாக்கப்படுகிறது.
உபகரணங்கள்:5-க்குழாய் முன்பக்க பிளாஸ்மா-வலுப்படுத்தப்பட்ட CVD
உற்பத்தியாளர்தேர்வு:சீனா எஸ்.சி.., முதலியன
குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மாவை ஆற்றல் மூலமாகப் பயன்படுத்தி, சிலிக்கான் வேஃபர் ஒரு குறைந்த அழுத்த ஒளி வெளியீட்டு அமைப்பின் கத்தோடில் வைக்கப்படுகிறது. ஒளி வெளியீட்டின் மூலமாகவோ (அல்லது கூடுதல் வெப்பமூட்டும் கூறு மூலமாகவோ) வேஃபர் ஒரு முன்கூட்டிய வெப்பநிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்படுகிறது. பின்னர், தேவையான அளவு SiH₄ மற்றும் NH₃ சேர்க்கப்பட்டு, சிலிக்கான் வேஃபரின் பின்புறத்தில் ஒரு திண்ம மெல்லிய படலத்தை (SiNx) உருவாக்க, வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா வினைகளின் தொடர் நிகழ்கிறது.
உபகரணங்கள்:5-குழாய் பின்புற பிளாஸ்மா-வலுப்படுத்தப்பட்ட CVD
உற்பத்தியாளர்தேர்வு:சீனா எஸ்.சி.., முதலியன
அச்சிடும் போது, நிறை ஸ்கிரீன் வலைப்பின்னலில் பூசப்படுகிறது. ஸ்கிரீனில் பயணிக்கும் போது, ஸ்கூஜி கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அழுத்தத்தை செலுத்துகிறது, நிறையை வலைப்பின்னலின் துளைகளின் வழியாக பொருளில் பூசுகிறது. நிறையின் திரவத்தன்மை காரணமாக வரையறுக்கப்பட்ட எல்லைக்குள் நிறை ஒட்டிக்கொள்கிறது.
ஸ்கிரீன் மற்றும் பொருளுக்கு இடையேயான கட்டுப்படுத்தப்பட்ட இடைவெளி, இழுப்பு வலைப்பின்னலை ஸ்கூஜியிலிருந்து மீளுருவாக்க அனுமதிக்கிறது, இதனால் நகரும் ஒரு கோடு தொடர்பு மட்டுமே இருக்கும். இது பிரிக்கும் போது வலைப்பின்னலில் இருந்து நிறையை துண்டிப்பதன் மூலம், அளவு துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. அச்சிடுதலுக்குப் பிறகு, ஸ்கூஜி உயர்த்தப்பட்டு
உபகரணங்கள்:இரட்டைப் பாதைத் திரை அச்சிடும் கோடு
உற்பத்தியாளர் தேர்வு: சீனாமேக்ஸ்வெல்., போன்றவை
குறைந்த வெப்பநிலை மண்டலம்: முதன்மையாகப் பிசின் மற்றும் பிணைப்பிகளின் ஆவியாதல் மற்றும் எரிப்பை உள்ளடக்கியது.
இடைநிலை வெப்பநிலை நிலை: முதன்மையாக கண்ணாடி திரிட்டின் உருகுதல் மற்றும் வெள்ளி துகள்களின் கூட்டுறவு.
உயர் வெப்பநிலை நிலை: வெள்ளி, சிலிக்கான் மற்றும் உருகிய கண்ணாடி இடையேயான வினைகள், வெள்ளி-சிலிக்கான் கலவைகளை உருவாக்குதல்.
குளிரூட்டும் கட்டம்: முதன்மையாக சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் வெள்ளி துகள்களின் மீண்டும் படிகமாக்கல் மற்றும் துகள் வளர்ச்சியை உள்ளடக்கியது.
உபகரணங்கள்:தீப்பொறி உலை மற்றும் ஒளி செலுத்தல் ஒருங்கிணைந்த அமைப்பு (இரட்டை பாதை)
உற்பத்தியாளர்தேர்வு: சீனாமேக்ஸ்வெல்., போன்றவை
சூரிய மின்சார கலத்தில் உள்ள மின்னணுக்களை உயர் தீவிர கதிர்வீச்சு ஊக்குவிக்கிறது, அதே நேரத்தில் 10V ஐ விட அதிகமான பைஸ் மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் பல அம்ப்பியர்களின் ஒரு திட்டமிட்ட மின்னோட்டம் உருவாகிறது. இது சாம்பிளிங் செயல்முறையைத் தூண்டி, வெள்ளி பேஸ்ட் மற்றும் சிலிக்கானுக்கு இடையேயான பரஸ்பர பரவலைத் தூண்டுகிறது, இதனால் உலோகம் மற்றும் अर्द्धचालक இடையேயான தொடர்பு எதிர்ப்பைக் குறைக்கிறது, மேலும் நிரப்பு காரணியை மேம்படுத்துகிறது. இதற்கிடையில், சாம்பிளிங் செயல்முறையின் போது, லேசர் கடந்து சென்ற பிறகு, திடீரென்று கேரியர் ஆயுட்காலம் முடிவுக்கு வருகிறது, இதனால் மூலத்திற்கு ஏற்படும் சேதத்தைக் குறைவாக வைத்திருக்கிறது.
உபகரணங்கள்:இரட்டைப் பாதை לייசர்-தூண்டப்பட்ட டோப்பிங் அமைப்பு
உற்பத்தியாளர்தேர்வு: முனைவர்., முதலியன
AOI (தானியங்கி நுண்ணோக்கி பரிசோதனை) என்பது சோலார் செல் உற்பத்தியின் போது ஏற்படும் பொதுவான பார்வை குறைபாடுகளை கண்டறிய ஒளியியல் கொள்கைகளின் அடிப்படையில் அமைந்த ஒரு சாதனம்.
EL (எலக்ட்ரோலுமினசன்ஸ்) கொள்கை: சோலார் செல்லுக்கு முன்னோக்கி மின்னோட்டம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சோலார் செல் ஒளியை வெளிவிட புகைப்பட விளைவு எதிர்மாறான செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. படமெடுக்கும் அமைப்பு சமிக்ஞையைப் பிடித்து கணினி மென்பொருளுக்கு அனுப்புகிறது, அது தரவுகளை செயலாக்கி சோலார் செல்லின் EL படத்தைத் திரையில் காண்பிக்கிறது.
IV டெஸ்டர் கொள்கை: சூரிய மின்சார செல் மாதிரி சூரிய ஒளியில் வெளிப்படுத்தப்பட்டு, ஒளி ஆற்றலை மின் ஆற்றலாக மாற்றி, மின்னோட்டத்தை உருவாக்குகிறது. டெஸ்டர் ஒரே நேரத்தில் மின்னோட்டத்தையும் மின்னழுத்தத்தையும் அளவிட்டு, பின்னர் அதன் அடிப்படையில் சக்தி மற்றும் செயல்திறன் போன்ற முக்கிய அளவுகளை கணக்கிடுகிறது.
உபகரணங்கள்: இரட்டைப் பாதை சூரிய மின்சார செல் டெஸ்டர் & சார்டர் (ஹாலம் அமைப்பு, 150 பிளாக்குகள்)
உற்பத்தியாளர்தேர்வு: சீனாமேக்ஸ்வெல்., போன்றவை
எங்கள் தயாரிப்புகள் மற்றும் தீர்வுகளுக்காக மேலும் தகவல்களைப் பெற, கீழ்காணும் வடிவத்தைச் சரியாகப் பதிவு செய்யவும் மற்றும் எங்கள் ஒரு நிபுணர் மொத்தமாக உங்களுக்குப் பின்னணியில் சற்றே நன்றியுடன் வருவதற்குத் தயாராக இருப்பார்
3000 TPD பொன் மூழ்கு திட்டம் ஷாந்தொங் மாகாணத்தில்
2500 TPD லித்தியம் கனிகேல் மூழ்கியில் சிச்சுவான்
ஃபாக்ஸ்: (+86) 021-60870195
முகவரி:எண்.2555, சியுபு சாலை, புடாங், ஷாங்காய்
காப்புரிமை © 2023.ப்ரோமினர் (ஷாங்காய்) மைனிங் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.
