Proses etsa kimia membentuk tekstur piramida atau struktur piramida terbalik pada permukaan wafer silikon
Peralatan: Sistem tekstur batch monokristalin
Pilihan Produsen: CHINA S.C., Kingenious., dll
Pembentukan Lapisan P+ untuk Junction PN:Menggunakan BCl₃ pada suhu tinggi untuk membentuk lapisan P+ pada permukaan wafer silikon, sehingga menciptakan junction PN yang memungkinkan generasi pembawa muatan di dalam wafer.
Metode Pembentukan Junction Sel N-tipe:Proses pembentukan junction untuk sel tipe N melibatkan difusi boron (B) ke dalam material semikonduktor yang di doping fosfor, menciptakan junction P-N pada antarmuka antara kedua daerah semikonduktor yang didoping.
Peralatan:
Furnace difusi Boron (6 tabung)
Pilihan Produsen:
CHINA S.C., Laplace., dll
Penghapusan Phosphosilicate Glass (PSG) Menggunakan HF
Reaksi: SiO2 + HF → H2SiF6 + H2O
Mekanisme Pasivasi Permukaan Selektif & Pemolesan:
“Kelompok pelindung” (misalnya, senyawa berbasis silana) membentuk lapisan monolayer yang teratur pada permukaan oksida:
Membentuk penghalang difusi OH⁻ → Mencegah pengukiran SiO₂
Mempercepat reaksi OH⁻ dengan Si bagian belakang → Meningkatkan pengukiran anisotropik pada bidang {111}/{100}
Peralatan: Peralatan penghapusan BSG inline + peralatan pemoles alkali
Pilihan Produsen: CHINA S.C., Kingenious., dll
Prinsip Deposisi Lapisan Oksida: Oksidasi termal melalui difusi oksigen pada suhu tinggi, di mana oksigen bereaksi dengan silikon untuk membentuk silikon oksida.
Reaksi Kimia: O2 + Si → SiOx.
Prinsip Deposisi Silikon Amorphous (a-Si): Penguraian termal silane (SiH₄) dalam proses CVD, menghasilkan silikon fasa padat dan produk sampingan hidrogen.
Reaksi Kimia: SiH₄(g) → Si(s) + 2H₂(g)
Peralatan: Sistem LPCVD
Produsenpilihan:Laplace, dll
P2O5 yang dihasilkan dari dekomposisi POCl3 diendapkan pada permukaan wafer silikon. P2O5 bereaksi dengan silikon untuk menghasilkan SiO2 dan atom fosfor, dan membentuk lapisan gelas fosfosilikat pada permukaan wafer silikon. Atom fosfor kemudian berdifusi ke dalam silikon.
Reaksi: 2P2O5 + 5Si = 5SiO2 + 4P↓
Peralatan: Tungku difusi fosfor
Produsenpilihan:CHINA S.C., dll
Etching Basah Inline untuk Penghapusan PSG (Sisi Belakang & Sisi)
Proses: Stasiun basah tipe rantai menggunakan bahan kimia berbasis HF untuk menghilangkan phosphosilicate glass (PSG) dari sisi belakang dan tepi wafer sebelum pembersihan RCA.
“Grup pelindung” disusun secara selektif dan teratur untuk meningkatkan perlindungan BPSG. Setelah menghilangkan PSG pada permukaan POLY menggunakan proses pemolesan alkali, aOH+ADD digunakan untuk melindungi SiO2 agar tidak terkikis oleh NaOH.
Peralatan: Sistem penghapusan PSG inline + mesin pembersihan RCA
Produsenpilihan:CHINA S.C., dll
Prin
Mendepak elektron dari antarmuka Al₂O₃/Si n-tipe silikon
Mengurangi kecepatan rekombinasi antarmuka (Seff< 10 cm/s)
Meningkatkan umur hidup pembawa minoritas (Δτ > 1 ms)
Deposisi Al₂O₃ Melalui Mekanisme Reaksi Prekursor TMA: Trimetilaluminium (TMA) bereaksi dengan uap air dalam proses siklik:
2AL(CH3)3 + 3H2O = Al2O3 + 6CH4
Peralatan: ALD
Produsenpilihan: LEADMICRO.,dll
Plasma suhu rendah berfungsi sebagai sumber energi, dengan wafer silikon ditempatkan pada katoda di bawah pelepasan muatan cahaya bertekanan rendah. Wafer dipanaskan hingga suhu yang telah ditentukan melalui pelepasan muatan cahaya (atau elemen pemanas tambahan).
Peralatan: CVD plasma-enhanced 5 tabung sisi depan
Produsenpilihan:CHINA S.C., dll
Menggunakan plasma suhu rendah sebagai sumber energi, wafer silikon ditempatkan di katoda sistem pelepasan muatan rendah tekanan. Wafer dipanaskan hingga suhu yang ditentukan melalui pelepasan muatan (atau dengan elemen pemanas tambahan). Kemudian, sejumlah SiH₄ dan NH₃ yang tepat dimasukkan, mengalami serangkaian reaksi kimia dan plasma untuk membentuk film tipis padat (SiNₓ) pada permukaan belakang wafer silikon.
Peralatan: CVD plasma 5 tabung sisi belakang
Produsenpilihan:CHINA S.C., dll
Saat mencetak, pasta diaplikasikan pada jala saring. Squeegee memberikan tekanan terkontrol saat melintasi saring, memaksa pasta melalui lubang jala ke substrat. Pasta menempel dalam batas yang ditentukan karena viskositasnya.
Celah terkontrol antara saring dan substrat memungkinkan saring yang menegang untuk memantul kembali dari squeegee, hanya mempertahankan kontak garis yang bergerak. Hal ini menciptakan pemisahan pasta dari jala saat pemisahan, menjamin akurasi dimensi. Setelah pencetakan, squeegee terangkat dan
Peralatan: Lini sablon layar ganda
Pilihan Produsen: CHINAMAXWELL., dll
Zona Suhu Rendah: Terutama melibatkan penguapan dan pembakaran pelarut organik dan perekat pasta.
Tahap Suhu Menengah: Terutama ditandai dengan pelelehan frit kaca dan agregasi partikel perak.
Tahap Suhu Tinggi: Didominasi oleh reaksi antara perak, silikon, dan kaca cair, membentuk paduan perak-silikon.
Fase Pendinginan: Terutama terdiri dari rekristalisasi dan pertumbuhan butir partikel perak pada permukaan silikon.
Peralatan: Sistem integrasi tungku pembakaran & injeksi cahaya (Dual-track)
Produsenpilihan: CHINAMAXWELL., dll
Penyinaran laser berintensitas tinggi memacu pembawa muatan dalam sel surya, sementara tegangan bias melebihi 10V diterapkan, menghasilkan arus lokal beberapa ampere. Hal ini menginduksi sintering, memicu difusi timbal balik antara pasta perak dan silikon, secara signifikan mengurangi resistansi kontak antara logam dan semikonduktor, sehingga meningkatkan faktor pengisian. Sementara itu, selama proses sintering, umur pembawa muatan cepat berakhir setelah laser lewat, meminimalkan kerusakan pada...
Peralatan: Sistem doping laser dua jalur
Produsenpilihan: DR., dll
AOI (Pemeriksaan Optik Otomatis) adalah perangkat yang didasarkan pada prinsip optik untuk mendeteksi cacat visual umum yang ditemui selama produksi sel surya.
Prinsip EL (Electroluminescence): Arus maju diterapkan pada sel surya, memanfaatkan proses invers dari efek fotovoltaik untuk membuat sel memancarkan cahaya. Sistem pencitraan menangkap sinyal dan mengirimkannya ke perangkat lunak komputer, yang memproses data dan menampilkan gambar EL sel surya di layar.
Prinsip Penguji Sel Surya: Sel surya dihadapkan pada simulasi cahaya matahari, mengubah energi cahaya menjadi energi listrik dan menghasilkan arus. Penguji secara bersamaan mengukur arus dan tegangan, kemudian menghitung parameter kunci seperti daya dan efisiensi berdasarkan data tersebut.
Peralatan: Penguji dan pengklasifikasi sel surya dual-track (sistem HALM, 150-bin)
Produsenpilihan: CHINAMAXWELL., dll
Untuk mengetahui lebih lanjut tentang produk dan solusi kami, silakan isi formulir di bawah ini dan salah satu ahli kami akan menghubungi Anda segera
Proyek Flotasi Emas 3000 TPD di Provinsi Shandong
2500TPD Flotasi Bijih Lithium di Sichuan
Fax: (+86) 021-60870195
Alamat:No.2555, Jalan Xiupu, Pudong, Shanghai
Hak Cipta © 2023.Prominer (Shanghai) Mining Technology Co.,Ltd.
